“制程节点”代表闸极的“平均长度”,会随制程技术的进步而变小,当缩小到14纳米以下遇到问题,因此发明了“鳍式场效电晶体(FinFET)”,但是5纳米以下又遇到问题,才出现“环绕闸极场效电晶体”。
曲建仲指出,GAA的原理很简单,就是增加闸极与电子通道的接触面积,可以增加控制效果减少漏电流。除了三星,各家晶圆厂早就在发展GAA,只是结构稍有不同,因为测试效果没有比FinFET好,良率又低,因此没有拿这个专有名词来“唬人”而已。
曲建仲强调,三星展出的“水平式”GAA和FinFET性能差异不大,这次三星讲GAA只是用专有名词来唬外行人,报导说三星想用GAA在3纳米弯道超车台积电,“只能说不是想像力太丰富,就是三星的营销比较厉害”。
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