IBM正尝试利用石墨烯超越7nm制程
1、在碳化硅基底上生长石墨烯,再揭下放在硅/氧化硅晶片上; 2、刻蚀石墨烯,产生层积位点,没被刻蚀的石墨烯充当下一步的电极; 3、在交流电场中使溶液里的纳米材料被附在石墨烯层积位点附近; 4、除去石墨烯层积电极。 这种方法的最大好处在于能够...
1、在碳化硅基底上生长石墨烯,再揭下放在硅/氧化硅晶片上; 2、刻蚀石墨烯,产生层积位点,没被刻蚀的石墨烯充当下一步的电极; 3、在交流电场中使溶液里的纳米材料被附在石墨烯层积位点附近; 4、除去石墨烯层积电极。 这种方法的最大好处在于能够...