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据称，双方探讨了的核心是EUV光刻机的供应和装配（5nm)，同时也就面向AI等领域的下一代光刻机研发合作交换了意见，讨论中还各自发表了对当前新冠肺炎疫情的看法。
资料显示，三星和ASML在EUV极紫外光刻上的合作可追溯到2000年，三星在2012年的时候还投资入股ASML以加强合作，目前，三星持有ASML 1.5%股份。
另据了解，ASML正在开发NXE-5000，是其现有主力出货EUV光刻机NXE-3400B的完全换代型号。
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