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根据Ian Cutress博士的报告，台积电目前占到行业EUV（极紫外光）设备安装数量的50%。此外，台积电还宣称其EUV晶圆产量占整个行业累计产量的60%。
台积电的N7+工艺是该公司第一个使用EUV光刻技术的节点，而该公司的N5工艺将进一步利用EUV技术。此外，任何超5nm的器件都将广泛依赖EUV光刻技术。目前，除了台积电的N7+和N5，三星也有其7LPP工艺并有望利用EUVL。
ASML是唯一一家生产和销售EUV光刻设备的公司，据Cutress估计，台积电已经从这家公司手中购买了30-35台设备。据估计，ASML今年已售出约70台机器，等到底可能会达到90台。
最近，台积电庆祝了10亿多块无缺陷7nm芯片的出货。
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