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与7nm EUV工艺相比，三星的5nm EUV工艺性能提升10%，功耗降低了20%，逻辑面积效率提升25%。
日前韩国媒体报道，三星正在加速在韩国华城建设5nm生产工厂V1，已经对主要的设备厂下单，预计6月底之前完成生产线建设。
不过工厂落成之后，还需要较长时间装配、调试，预计三星最快会在今年底开始生产5nm工艺，再晚一点就是2021年初。
除了三星自己的芯片之外，三星5nm工艺的客户还有高通，此前高通发布的骁龙X60 5G基带就是三星5nm工艺生产的，预计会在2021年上市，搭配新一代的5G平台骁龙875。
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