巨额资本主要用于扩增先进工艺产线,除了7nm满载之外,今年还会有6nm工艺及5nm工艺,尤其是后者,苹果的A14、华为的海思麒麟1020芯片都会上5nm工艺。
为此台积电正在加快设备购买,主要受益的厂商就是ASML、KLA科磊、应用材料等公司,他们供应的光刻机、蚀刻机等都是制造芯片的重要装备。
这其中,ASML的EUV光刻机无疑是最关键的,台积电的第二代7nm工艺、5nm工艺都会大量使用EUV光刻机,这种设备只有ASML能产,每台售价超过1.2亿美元。
根据ASML公司发布的财报,2019年全年一共出货了26台EUV光刻机,预计2020年交付35台EUV光刻机,2021年则会达到45台到50台的交付量,是2019年的两倍左右。
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