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日经从三位消息人士处获悉，中芯国际订购的这台设备计划于今年年底交付，2020年中期完成安装，但目前货物正在“等待后续通知”。
6日（北京时间）晚间，路透社报道指出，ASML第一时间回应表示，该公司向一家中国客户出口其最先进的设备之一的许可证已经到期，正在等待荷兰政府批准新的许可证。
ASML发言人Monique Mols进一步解释称，这台设备的价格大约为1亿欧元，“ASML只是在遵守法律，法律明确指出，只有在拥有出口许可证的情况下才能够将EUV设备运输出去”。
曾多次承诺
随着中国半导体产业发展进程加速，ASML在中国的业务增长明显。据ASML 2018年第1季、第2季财报显示的当季销售数据，大陆地区的销售占比约20%，与美国市场相当，超过了台湾市场。为表深耕中国市场的决心，ASML让最新的中国区总裁沈波替换掉了原先的韩裔负责人。
近年来，虽然市场上关于ASML的谣传四起，但ASML都一一否认，并不断重申中国市场的重要性。去年8月，就有传言称ASML公司受到美国政府禁止，不能招收中国员工。随后，ASML回应表示：“这是个不实传言，ASML招人的时候一般不会有国籍限制，我们欢迎来自全球各地的工程师”。
另外，还有人担心《瓦森纳协议》让中国大陆买不到ASML最新的设备。对此，沈波曾表示，这是对ASML的误解，ASML的光刻机一直都有在大陆销售。他还承诺，最先进的设备也将能够在大陆市场看到。
今年6月，中国另一家晶圆代工厂华虹半导体的无锡12英寸生产线也顺利搬入了3台ASML光刻机设备。ASML全球资深副总裁Bert Savonije表示，ASML非常荣幸能参与中国半导体产业发展，并做出贡献，未来希望能继续贡献力量。
毫无疑问，ASML看好持续增长的中国半导体市场，未来也想继续扩大在中国的业务版图。相信对于中芯国际的这台EUV设备的交付事宜，ASML一定会慎重对待。
其他美国设备厂商的态度？
光刻只是半导体制造流程中的一个环节，在蚀刻、研磨、清洗等制程上还需要用到非常多的半导体设备。
除了荷兰ASML，美国应用材料、Lam Research和KLA都是全球半导体行业的设备供应商。
应用材料首席财务官Daniel Durn曾表示，公司已制定计划、确保将与中美贸易紧张局势相关的任何关税净影响降至最低。第二季度中国大陆市场仍然占据公司营收比重达到了28%，为全球最高值。
KLA资深副总暨营销长Oreste Donzella也曾在接受集微网记者采访时指出，中国大陆是半导体增长最快的一个地区，KLA 2018财年第二季度中国大陆营收占比32%仅次于韩国（34%）。未来KLA将会提供完善、多样化的技术和本地化服务，来助力中国半导体产业发展。
Lam Research在参加中国首届进博会时强调，中国市场的规模决定了这里的机遇，对中国市场抱有非常强的信心，也很高兴能够参与到中国半导体产业的发展中来。
今年4月，虽然三安光电由于被美国政府纳入了“未经验证清单(Unverified List, UVL)”，应用材料曾因此短暂的停止了双方的业务联系，但经过有效沟通，不久后又重启了供货与合作。
从这三家美国半导体设备厂商的态度就足以见得，哪怕是土生土长的美国厂商，对于中国半导体市场倍加重视。即使由于政府法规而出现了小插曲，都十分积极的去沟通和解决。
荷兰工厂听命？
在中美贸易战的大环境下，很容易将ASML推迟交付一事也归咎于美国的干涉。那么连美国本土设备厂都没有做的事情，ASML作为一家荷兰厂商，会听命于美国吗？
Market Intelligence＆Consulting Institute的高级技术分析师Chris Hung表示：“所有与芯片相关的公司，不论是不是美企，在将产品运往中国时都会十分谨慎。毕竟，许多知识产权、材料和基础科学仍由美国控制”。
以另一家中国企业华为为例，该公司在被列入“实体清单”后，英国芯片供应商arm随即宣布中止与华为的合作，原因是arm部分技术原产于美国。不过，arm在完成了法律方面的审查过后，又恢复了与华为的相关业务。
除了arm之外，目前华为大多数的美国供应商也都在通过合规性审查之后，恢复了对华为的供应。
因此，在ASML推迟中芯国际的EUV设备交付这件事中亦是如此。消息人士指出，ASML制造机器所需的零件中有五分之一是在美国康涅狄格州的工厂生产的。即便ASML被迫需要进行“合规性审查“，一旦符合条件之后也会恢复交付。中芯国际方面回应此事时也表示，该项目仍处于“书面工作阶段”。目前，公司先进工艺研发进展顺利，研发与生产的连结一切正常，客户与设备导入正常运作。
值得一提的是，目前多家华为的美国供应商逐渐恢复供应，中美关系已经出现了缓和的迹象。近日，美国商务部部长威尔伯·罗斯甚至表示，中美之间的预计最快将于本月在爱荷华州、阿拉斯加、夏威夷或中国某地达成贸易协议。
这对于ASML与中芯国际之间的这笔交易来说，或许是一个好消息。就算荷兰政府担心招惹到美国，如果美国自身对于中国的态度开始好转，那么荷兰政府一定也不会再多做文章。
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